物体の影を利用した多彩な測定機能

細いレーザ光線を回転多面ミラーとレンズ系により平行走査し、その中に置か れた
物体または間隙をレーザ光が通過する時間から、物体または間隙の寸法を測定 します。

測定機能例

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東京光電子工業株式会社