膜厚測定器

 レーザ光線を光源に使用した光透過型の非接触膜厚測定器です。レーザ光を絞ることにより、10ミクロンオーダーのごく小さい部分の膜厚を測定することもできます。光が測定物を透過したときの減衰(吸収)量から厚さを求めるので、光を全く透過しないものは測定できません。
 磁気テープの磁気膜の厚さ、アルミシートのアルミ膜の厚さ測定等に使用されています。
 放射線を用いた方法に比べ、きわめて廉価で使い勝手も簡便です。


用 途

  • アルミ蒸着フィルム製造ラインでの膜厚測定。
  • 光が透過するフィルム等の製造ラインでの膜厚測定。

仕様例

  • 測定物 : 透明フィルムに蒸着されたアルミ膜
  • 測定範囲: 400〜800A(ベースが透明フィルムの場合)
  • 光 源 : 半導体レーザ
  • 表 示 : ディジタル3桁
  • 使用場所: 真空蒸着装置内

構 成

  • 送光部    1台
  • 受光部    1台
  • 表示部    1台
  • 接続ケーブル 1式

上記の仕様は一例です。仕様はお打ち合わせの上、決めさせていただきますので下記までご連絡ください。

東京光電子工業株式会社